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                湖北興發集團“超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術”獲得國家科學技術進步二等獎

                發布時間:2020-01-19 10:01:31    來源:湖北興發集團官網

                1月10日,搜狐彩票网app下载度國家科學技術獎勵←大會在北京人民大會堂隆重舉行,共評選出296個項目和12名科技⊙專家。興發集團╱投資3億多元、歷時10年研〒發成功、用於芯片制造的“超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產關鍵技術”獲得國家科學技術進步二等獎。項目主要↘完成人、興發集團股份公司副總經理、教授級高工李少平等在北京人民大會堂●接受頒獎,並受到習近平等黨和國家領導人的親切接見。

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                超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業不可替代的關鍵電子化學品,其關鍵技術和核心裝備被美日韓等少數化工企業掌握並長期壟斷,嚴重制約著我國芯片產業的健康可持續發展,是亟待攻克的“卡脖子”技術。


                面對國家化學和電子工業重大戰略需求,興發集團作為全國精細磷化工龍頭企業,從2006年初⊙開始主動承擔起這項技術攻關重任。興發集團下屬的湖北興福電子材料有限公司與中國科學院過程工程研究所、武漢工程大學等單位聯合,經過10多年持續研究攻關,自主研發出高純黃磷與電子級磷酸制備的關鍵技術,打破了高超純電子級磷酸產品的進口依賴。


                芯片用磷酸系高選擇性蝕刻液,已成功應用於國內芯片制造行業,有力支撐了我國電子材料和芯片行業的發展,為實現國家提出的2025年電子材料國產化ω的目標奠定了堅實基礎。鑒定委員會專家一致認為,該項目整體技術達□ 到國際先進水平,其中超高純電子級磷酸中砷、銻等雜質的控制技術居國際領先水平。


                興發集團生產的電子級磷酸已替代日本廠商,成為國際第二大芯片制造企業新加坡“格羅方德”的最大供應商;在國內最大芯片制造企業半導體公司的進口替代率大幅提升。

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                據了解,“超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液”項目共獲得授權專利30件,其①中發明專利11件。興發集團技術研發中心還參與制定了 “電子級磷酸國家◣標準”,成為全國磷化工行業的標桿。


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